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사설 토토의 넓은 면적의 CdCl2 처리 튜브로는 최대 6인치 x 6인치 샘플을 허용합니다. CdCl2 처리를 위해 통제된 환경에서 가열해야 합니다. 현재 설정에서는 다음을 허용합니다. N2, Ar 및 건조한 공기의 경우.

저희 CSS 시스템은 분말 소스 자료를 3인치 x 3인치 크기로 직접 승화시킵니다. 고온에서 기판. 온도는 700도까지 올라가거나 내려갈 수 있습니다. mTorr 범위의 부분 압력. 사설 토토는 CdTe, CdS, Zn3P2, CdCl2, ZnCl2 등의 재료.

사설 토토 클러스터 시스템의 주요 부분은 완전한 비정질 Si를 증착하도록 설계되었습니다. 활성층의 PECVD와 전극의 TCO 및 금속을 통해 태양전지를 생산합니다. CdS 및 CdTe의 rf 스퍼터링과 공증발을 허용하는 추가 챔버가 추가되었습니다. Cu, In, Ga 및 Se의. 각 챔버에는 모니터링을 위한 엘립소메트리 포트가 장착되어 있습니다. RTSE(Real-Time Spectroscopic Ellipsometry)를 이용한 증착 공정. 이 방 MV Systems에서 제작했으며 최대 6인치 x 6인치 또는 6인치 너비의 릴투릴 샘플을 처리할 수 있습니다. 웹.

사설 토토의 공증착 시스템은 진공 성장 방법을 사용하여 CZTSe 필름을 증착합니다. 지어진다 원소 Cu, Zn의 증착을 위한 5개의 서로 다른 Luxel 가열원을 사용합니다. Sn, Se. 이 시스템은 회전을 사용하여 6인치 X 6인치 기판에 필름을 성장시킬 수 있습니다. 기판 홀더. IC6에 의해 제어되는 광학 크리스탈 모니터가 일반적으로 사용됩니다. 두께 교정용. 전자 충격 방출 분광법(EIES)도 가능합니다. 플럭스 측정에 사용됩니다. 이 시스템은 AJA International에서 제작했습니다.

사설 토토의 RF 마그네트론 스퍼터링 진공 시스템은 3원 또는 4원을 공동 스퍼터링할 수 있습니다. 금속 칼코게나이드 박막. 시스템에는 3개의 3인치 직경 RF 스퍼터링이 포함되어 있습니다. 총을 사용하며 최대 3개 재료의 공동 스퍼터링을 위해 완전 자동화될 수 있습니다. 시스템 Cu2ZnSnS4(CZTS) 및 Cu2BaSnS4(CBTS) 박막을 증착하는 데 사용할 수 있습니다. 시스템 Kurt J. Lesker가 제작했습니다.

사설 토토의 전용 스퍼터 시스템은 하나의 3인치 재료에서 하나의 재료를 스퍼터링할 수 있습니다. 직경이 최대 6"인 기판에 한 번에 직경 대상을 배치할 수 있습니다. 기판은 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 증착 중에 250°C로 가열됩니다. 하나의 시스템은 RF 스퍼터링 전용입니다. TCO 재료를 사용하며 세 개의 건을 사용할 수 있습니다. 다른 하나는 DC 스퍼터링 전용입니다. 금속으로 만들어졌으며 총이 두 개 있습니다. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 제작했습니다.

저희 전자빔(e-빔) 증발기에는 전자빔 증발 사설 토토용 포켓이 4개 있습니다. 직경이 최대 6인치인 샘플에 증착할 수 있습니다. 전자빔 증발 외에도, 시스템에는 두 개의 열 증발원이 있습니다. 이 시스템은 예금에 사용되었습니다. 금속 및 반사 방지 코팅. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 만들었습니다.

사설 토토의 유틸리티 스퍼터 시스템은 4개 타겟(2인치 3개 및 3인치 1개) 시스템을 갖추고 있습니다. 최대 4개의 3인치 x 3인치 기판을 고정할 수 있는 회전 가능한 샘플 마운트가 있습니다. 는 스퍼터 건은 직접 위치한 기판에만 스퍼터링을 하는 상황입니다. 그 위에. 한 장의 기판을 최대 300°C까지 가열할 수 있는 히터가 추가되었습니다. 이 시스템에 사용되는 재료에는 Mo, CdSe, ZnO, MgO, ZnTe, CdSnO4가 포함됩니다. 이 시스템 Kurt J. Lesker가 제작했습니다.

사설 토토의 GLAD 시스템은 반도체 재료를 비스듬한 각도로 RF 스퍼터링할 수 있습니다 직경이 최대 6인치인 기판에 입사합니다. 기판은 회전할 수 있으며 최대 300°C까지 가열됩니다. 시스템은 또한 다음과 같은 방법으로 재료를 증착할 수 있습니다. 전자빔 증발. 실시간 모니터링을 위해 시스템에는 타원계(ellipsometer)가 장착되어 있습니다. 포트. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 만들었습니다.

대지역 CIGS 시스템은 다중 요소 증발 시스템입니다. 이 시스템은 구성되어 있습니다 5개의 도가니가 있으며 CIGS 사설 토토 전용입니다. 시스템은 다음에 입금할 수 있습니다. 최대 6인치 x 6인치의 기판을 600°C로 가열합니다. 이 시스템은 Kurt에서 제작했습니다. J. 레스커.

사설 토토의 대규모 TCO 스퍼터 시스템은 3개의 4인치 스퍼터 건으로 구성되어 있으며 전용입니다. 투명 전도성 산화물(TCO) 및 버퍼층 증착까지. 시스템은 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 300°C로 가열된 최대 6인치 x 6인치 크기의 기판에 증착합니다. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 제작했습니다.

사설 토토의 선형 RF 스퍼터링 시스템은 CdS, CdSe 및 CdTe 재료를 스퍼터링할 수 있습니다. 최대 6인치 x 6인치 크기의 기판 위에 기판을 250°C까지 가열할 수 있습니다. 전체 기판 영역에 걸쳐 균일한 증착을 위해 타겟 위에서 진동합니다. 이 시스템은 유리 분광 타원계를 통해 현장에서 측정할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. (SE) 측정. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 만들었습니다.

사설 토토의 미니 스펙트로스 시스템은 솔루션을 가능하게 하는 통합 글로브박스 복합체입니다 불활성 환경에서 페로브스카이트 태양전지의 진공 처리. 시스템 2개의 연결된 글러브 박스와 3개의 진공 챔버로 구성됩니다. 진공 챔버는 다음을 허용합니다. 유기 전하 수송 물질의 증착, 유무기 페로브스카이트 열을 이용한 흡수체 소재, 금속 전극, 투명 전도성 산화물 증발 및 RF 스퍼터링. 이 시스템은 Kurt J. Lesker가 만들었습니다.

사설 토토의 플라즈마 강화 ALD 시스템은 플라즈마 생성 시스템을 갖추고 있습니다. 유기 금속 전구체의 분해로 증착된 물질의 균일성을 보장합니다. 금속 산화물 필름을 사용하여 전구체 소비와 사이클 시간을 최소화합니다. 시스템 최대 직경 6인치의 샘플을 수용할 수 있습니다. 이 시스템은 Enache Scientific에서 제작했습니다.

사설 토토의 급속 열 어닐링(RTA)로는 관상로의 급속 가열을 가능하게 합니다. 10분 이내에 1000°C 이상으로 가열됩니다. 이 용광로는 합성에 사용됩니다. 고온 처리가 필요한 재료. 이 시스템은 MTI에 의해 구축되었습니다.

사설 토토의 관상로는 최대 온도 1200°C를 허용하며 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이는 설정점 및 프로세스 타이머에 대한 단일 램프를 허용합니다. 이 난로는 전용입니다 금속 칼코게나이드 박막의 셀렌화. 이 시스템은 Carbolite에서 제작했습니다.

사설 토토의 단일 소스 스퍼터 시스템은 장치용 반도체 재료를 스퍼터링하는 데 사용됩니다. 증착된 박막의 제조 및 광학적 특성화. 시스템은 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 4인치 기판을 잡고 300°C로 가열합니다. 시스템에는 다음 사항이 제공됩니다. RTSE를 통한 실시간 모니터링.

사설 토토의 원자층 증착(ALD)은 SnO2, TiO2, Al2O3, SiO2, ZnO, MgO, NiO, Nb2O5 층별로. 이 시스템은 직경이 최대 6인치인 샘플을 채취하여 200°C까지 가열합니다. 이 시스템은 에 의해 과학을 보장합니다.

사설 토토의 열 증발기는 석영 증착을 갖춘 2 소스 증발 시스템입니다 두께 모니터 및 탈착식 증발 마운트. 시스템은 샘플을 입금할 수 있습니다. 가열 없이 최대 6인치 x 6인치. 이 시스템은 Denton에서 제작했습니다.

사설 토토의 단일벽 탄소 나노튜브 합성 시스템은 자유 실행 Nd:YAG 레이저를 사용합니다 레이저 합성 과정을 위해. 이 시스템은 다양한 제품을 생산할 수 있을 만큼 다재다능합니다. 합성 매개변수를 조작하여 다양한 직경의 튜브를 만들 수 있습니다. 게다가 정제 및 분리 방법도 확립되었습니다.

사설 토토 Schlenk 라인은 여러 포트가 있는 이중 매니폴드에 연결되어 있습니다. 하나의 매니폴드 정화된 불활성 가스(질소 및 아르곤)에 연결되고 다른 매니폴드는 액체 질소 트랩을 통해 진공 펌프에 연결됩니다. 사설 토토는 또한 여러 가지 가열 매니폴드 사용 가능. 이 시스템은 반도체를 합성하는 데 사용되었습니다. 퀀텀닷.

저희 에어로졸 스프레이 시스템은 다음을 사용하여 금속 산화물 박막을 빠르게 사설 토토하는 데 사용됩니다. 금속 전구체 수용액. 간단한 프로그램으로 자동으로 스프레이를 제어합니다. 패턴. 핫 플레이트는 기판을 원하는 온도로 유지하는 데 사용됩니다. 이 시스템을 자체적으로 제작했습니다.

저희 딥 코터는 프로그래밍된 방식을 사용하여 최대 1인치 x 1인치 기판을 용액에 담글 수 있습니다. 속도와 주기 수. 이 시사설 토토을 사용하면 기판을 담그는 것도 가능합니다. 특정 순서의 여러 솔루션. 이 시사설 토토은 NIMA에서 제작했습니다.

저희 불활성 대기 증착 시스템은 스핀 코터와 핫 플레이트로 구성되어 있습니다. 고진공 증발 시스템에 연결된 글러브 박스에 있습니다. 이 시스템 초기 증착부터 장치까지 공기에 민감한 사설 토토의 용액 처리를 허용합니다. 주변 공기에 노출되지 않고 완료됩니다. 최대 3인치 정사각형의 기판을 사용할 수 있습니다. 이 시스템과 함께 사용됩니다. 증발 시스템에는 두 개의 열 증발원이 있습니다. 그리고 하나의 전자빔 소스.

사설 토토의 페로브스카이트 글러브 박스 클러스터에는 각각 장착된 4개의 개별 질소 글러브 박스가 포함되어 있습니다. 일반, 기능성 소재 등 다양한 기능성 소재 증착을 위한 스핀코터 탑재 넓고 낮은 밴드갭 페로브스카이트 및 전자/정공 수송 재료.

저희 스핀 코터는 포토레지스트에서 용액 처리된 사설 토토를 스핀하는 데 사용됩니다. 나노소재와 페로브스카이트 소재까지. 스핀코터 1대는 클린룸에 위치 후속 리소그래피 패터닝을 허용하기 위해 UV 필터링 조명을 사용합니다. 다른 일반적인 사용을 위해 흄후드에 위치합니다. 두 스핀코터 모두 Laurell이 제작했습니다.

사설 토토의 초음파 스프레이 증착 시스템은 용액 기반 재료를 기판에 스프레이할 수 있습니다 최대 6인치 x 6인치. 기판은 500°C에 도달할 수 있는 기판 히터 위에 놓입니다. ℃. 하나의 시스템은 공기에 민감한 물질의 증착을 허용하기 위해 글러브 박스에 위치합니다. 재료. 다른 두 시스템은 일반 연구실 영역의 상자에 담겨 있습니다. 스테퍼 모터를 사용하면 필름이 기판을 균일하게 덮을 수 있습니다.